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OLS5000激光共焦显微镜

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激光共焦显微镜

OLS5000激光共焦显微镜       OLS5000激光共焦显微镜

OLS5000激光共焦显微镜可测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。数据采集比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍,从而大大提高了生产效率

高分辨率,成像

凭借对各种类型样品进行3D测量的能力,系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,终实现生产力的提升。

应用:

· MEMS扫描PEAK算法

· 双共焦系统

· Sq噪声(测量噪声)保证

· 准确性和重复性均可保证

· 混合匹配算法

· 混合阻尼机构

· HDR扫描

 

型号

OLS5000-SAF

OLS5000-SMF

OLS5000-LAF

OLS5000-EAF

OLS5000-EMF


总倍率

54x - 17,280x






视场直径

16 μm - 5,120 μm






测量原理

光学系统

反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光
-DIC 显微镜
彩色
彩色
DIC





光接收元件

激光 :光电倍增管(2ch
彩色 :
CMOS 彩色相机






高度测量

显示分辨率

0.5 纳米





动态范围

16






重复性 n-1 *1 *2 *5

5X : 0.45 μm, 10X : 0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm






准确度 *1 *3 *5

0.15 + L/100μmL: 测量长度 [μm]






拼接图像准确度 *1 *3 *5

10X 5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率 : 1.0+L/100 μmL: 拼接高度 [μm]






测量噪声(Sq 噪声) *1 *4 *5

1 纳米






宽度测量

显示分辨率

1 纳米





重复性 3 n-1 *1 *2 *5

5X : 0.4 μm, 10X : 0.2 μm, 20x : 0.05 μm, 50X : 0.04 μm, 100X : 0.02 μm






准确度 *1 *3 *5

测量值 +/- 1.5%






拼接图像准确度 *1 *3 *5

10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μmL: 拼接长度 [mm]






图像解析度

4096 x 4096






图像拼接像素

3600 万像素






XY 载物台配置

长度测量模块

移动范围

100 x 100 mm
电动

100 x 100 mm
手动

300 x 300 mm
电动

100 x 100 mm
电动

100 x 100 mm
手动


样品高度

100 mm

40 mm

37 mm

210 mm

150 mm


激光光源

波长

405 nm





输出

0.95 mW






激光安全等级

2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)






白光光源

白光 LED






电气功率

240 W

240 W

278 W

240 W

240 W


质量

显微镜主体

31 公斤

32 公斤

50 公斤

43 公斤

44 公斤

控制箱

12 公斤






 



OLS5000激光共焦显微镜


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