处理芯片金线测量显微镜物镜场曲

处理芯片金线测量显微镜物镜场曲

2021-05-01 02:50:44 18

处理芯片金线测量显微镜物镜场曲

将一物镜安装好,将0.01mm标准测微尺放进工作上地上并卡紧;旋转调焦旋纽,将对焦点调整在测微尺的中间,视场管理处显象清晰,这时候将千分尺测头与工作台表面相碰触并对好表的零位;再一次旋转调焦旋转,把对焦点调整到测微尺的边缘,使视场边缘显象清晰。观察千分尺,其很大偏位就是该物镜的场曲误差,别的物镜以此类推进行校准。

物镜场曲误差的指标下列:10X<0.3毫米、25X<0.mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm